日本正式開始限制中國23種半導體，對應替代公司如下|焦點消息
2023-05-25 08:28:23 來源：雪球網 小 中
(資料圖片)
1)、光刻機: 分辨率(CD值) 小于45nm設備; (關注: 福晶科技)
2)、 涂膠顯影: 用于EUV工藝設備; (關注: 芯源微)
3)、刻蝕設備:各向同性刻蝕材料選擇比大于100;各向異性刻蝕電路間隔小于100nm及深寬比大于30，并對靜定卡盤、閥體、射頻電源等部件核心參數做出嚴格規范; (關注: 中微公司，北方華創)
4)、薄膜設備: 特定溫度、壓力、等離子體以及柵極寬度條件下PVD/CVD/ALD/電鍍設備銅/鎢/鉆//組以及金屬化合物、成膜層和阻擋層等薄膜沉積工藝; (關注: 北方華創、拓荊科技、微導納米)
5)、熱處理設備: 銅/鉆/W等填料金屬回流工藝; (關注: 北方華創)
6)、清洗設備:晶片改性后進行干燥工序等部分單片濕法清洗設備; (關注: 盛美上海、北方華創)
7)、檢量測設備: EUV工藝制造的掩膜或環料裝置， (關注: 中科飛測，精測電子)
8) 、EPI設備: 核心Si/GeSi外延工藝; (關注: 北方華創)
9)、其他材料: EUV用掩膜材料及組件，暫不涉及耗材端;(關注: 路維光電、清溢光電)
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