聊一個(gè)舊聞，說點(diǎn)不一樣的。

3月底的時(shí)候，日本提出了計(jì)劃“新增23類禁止出口的尖端半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備”的政令，當(dāng)前處于收集公眾意見階段，預(yù)計(jì)在今年七月正式實(shí)施。

我們從年初開始一再強(qiáng)調(diào)半導(dǎo)體國產(chǎn)替代是23年的主線邏輯，越被限制越要發(fā)展是全年的主旋律，毋庸置疑。

(相關(guān)資料圖)

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈巨大，涉及方方面面的設(shè)備材料，其中最被限制且有望率先突破放量的環(huán)節(jié)才最有投資價(jià)值。如何去判斷？不妨以日本的限制為契機(jī)，認(rèn)真看看日本可以在哪些環(huán)節(jié)限制我們，根據(jù)光大證券的研報(bào)，日本設(shè)備廠商主導(dǎo)產(chǎn)品情況如下：

可以看出在Track、清洗、探針臺、CD-SEM、晶圓切割、光刻機(jī)及EUV掩模板檢測設(shè)備領(lǐng)域日本廠商有不同程度的壟斷。這些設(shè)備名稱和我們平常講板塊是說的半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)說法不一樣，我們一項(xiàng)項(xiàng)說明：

前文提到，CD-SEM完全被日本壟斷，且國內(nèi)已經(jīng)有替代方案OCD，根據(jù)精測電子的調(diào)研紀(jì)要已通過28nm測試。同時(shí)，把眼光放到整體行業(yè)里，測量設(shè)備國產(chǎn)替代率目前只有10%左右，空間巨大。

關(guān)鍵尺寸是什么？通俗來說，關(guān)鍵尺寸就是半導(dǎo)體中的柵極尺寸，集成電路中最微小的結(jié)構(gòu)。關(guān)鍵尺寸的變化，會(huì)反映出刻蝕、光刻等設(shè)備和工藝的波動(dòng)偏差，或光刻膠等關(guān)鍵材料的性能變化。對于實(shí)現(xiàn)工藝的均一性和穩(wěn)定性有重要作用。

日立公司的鍵尺寸掃描電子顯微鏡(CD-SEM)，通過發(fā)射電子束，碰觸到被測物體后產(chǎn)生二次電子。由于斜坡處入射電子有效作用面積大，產(chǎn)生的二次電子數(shù)量最多，轉(zhuǎn)換為電鏡圖像時(shí)，圖像邊緣亮度高，可以此為依據(jù)計(jì)算關(guān)鍵尺寸。

但顯然CD-SEM并不是關(guān)鍵尺寸檢測的唯一答案，精測電子控股子公司完成了通過光學(xué)技術(shù)檢測關(guān)鍵尺寸的方案設(shè)備（OCD）：將可見光源或紫外光源入射到晶圓表面，收集經(jīng)過晶圓表面衍射產(chǎn)生的衍射光，通過光譜分析儀及軟件系統(tǒng)將接收到的光譜與系統(tǒng)數(shù)據(jù)庫中的光譜模型進(jìn)行對比、匹配， 經(jīng)過調(diào)整和計(jì)算后，得出正確的關(guān)鍵尺寸模型和參數(shù)。

技術(shù)太復(fù)雜沒關(guān)系，OCD設(shè)備已經(jīng)在22年通過了關(guān)鍵客戶28nm的工藝驗(yàn)證，進(jìn)入量產(chǎn)生產(chǎn)階段。精測電子在膜厚、電子束、OCD 設(shè)備方面均處于國內(nèi)領(lǐng)先地位，公司已有產(chǎn)品國內(nèi)市場空間在百億以上，去年該部分收入僅1.4億元，未來放量空間廣闊。

最新的消息面上，4 月14 日精測電子發(fā)布簽訂重大合同公告，上海精測（半導(dǎo)體設(shè)備）新簽多臺檢測量測設(shè)備訂單，合計(jì)金額約1.2 億元；常州精測（新能源設(shè)備）新簽一套倉儲物流系統(tǒng)訂單，合計(jì)金額約1.8 億元。

檢測量測設(shè)備是保障芯片制造良率的核心設(shè)備，國產(chǎn)化率約10-12%。具體到前道檢測量測設(shè)備2022 年國內(nèi)市場空間約200 億元，國產(chǎn)化率僅3%，且全球供應(yīng)端格局被美日荷壟斷。在美國22 年10 月芯片管制新規(guī)以及今年3、4 月份荷蘭、日本半導(dǎo)體設(shè)備管制催化下，必然持續(xù)加速！

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