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(資料圖片)

光刻是半導體器件制造的最核心步驟，直接決定集成電路的性能和良率。光刻機的核心工藝指標包括：分辨率、 聚焦深度、套刻精度、曝光功率及單位時間產(chǎn)能等。主流的光刻機均采用浸沒系統(tǒng)、可編程光照、畸變修正、熱效應修正、對準與表面測量等高難度技術。 光刻設備均具有高技術附加值,毛利率超過 50%。

中國大陸以成熟制程為主的半導體產(chǎn)線不斷擴產(chǎn)，產(chǎn)生了大量光刻設備的需求。2021年ASML 有高達27.4 億歐元的營收來自中國大陸（其全球第三大市場）；全球光刻設備市場規(guī)模超180億美元，顯影涂膠設備市場超 30 億美元。國產(chǎn)光刻曝光設備尚處于 實驗階段；顯影涂膠設備已覆蓋浸沒式 ArFi 工藝節(jié)點，突破動能強勁。

光刻機的運行需光源、照明、掩膜臺、 物鏡、工件臺等多個精密系統(tǒng)組合工作，全球光刻零件市場至少約 70 億美元 （按 50%毛利率推算）。相比其他半導體零件，光刻機零件單個價值量高，技術難度大。貿(mào)易限制導致海外供應鏈風險劇增，國內(nèi)光學企業(yè)成為不二之選， 技術能力與對應產(chǎn)品的盈利能力有望加速成長。

子公司禹衡光學是國內(nèi)光柵編碼器(光刻機核心運動平臺的關鍵元件)龍頭廠商，打破國外壟斷。控股股東長春光機所是國內(nèi)唯一承擔 EUV光刻機研發(fā)任務的研究所，已取得包括核心光源系統(tǒng)在內(nèi)的多項突破。

公司可為半導體檢測設備提供高精度鏡頭、光學系統(tǒng)，同時掌握光刻機曝光物鏡超精密光學元件加工技術，目前產(chǎn)品已用于上海微電子的光刻機中。

公司生產(chǎn)的KBBF晶體屬于激光設備的上游關鍵零部件，用于建造超高光分辨率光電子能譜儀、光刻技術等前沿領域。

公司通過全資子公司上海張江浩成創(chuàng)業(yè)投資有限公司持有上海微電子14.21%股權。 旗下微裝公司是國內(nèi)唯一一家研發(fā)、生產(chǎn)以及銷售高端光刻機的企業(yè)，也是全球第四家生產(chǎn)IC前道光刻機的企業(yè)。在先進封裝光刻機等領域，其國內(nèi)市場占有率超過80%，全球市場占有率為40%。

公司為荷蘭 ASML核心供應商A公司提供光刻機用光場勻化器和半導體晶圓退火核心元器件。

國望光學和科益虹源（國內(nèi)第一，世界第三。）都是亦莊旗下公司，光刻機最大的預期差就在亦莊手里，截止目前A股亦莊唯一控股的上市公司是麥克奧迪。麥克奧迪業(yè)務光學鏡頭實錘供貨光刻機。光刻機最大預期差是麥克奧迪，預期同一控制下進行重組，國望光學和科益虹源+光刻機光學鏡頭供應商。

公司控股子公司上海金杜新材料科技有限公司于2020年11月5日收到上海微電子裝備（集團）股份有限公司簽署的《外協(xié)件采購通用條款》，上海金杜正式成為上海微電子的合格供應商。

公司向上海微電子提供了光刻機用的定位光柵產(chǎn)品，該器件是該公司光刻機產(chǎn)品的重要部件。公司長期從事激光直寫光刻機的研制，尤其在用于新一輪光子傳感器的納米光刻機研制領域積累了豐富且較為完善的技術經(jīng)驗，可為國內(nèi)外高等院所和企業(yè)提供自主可控的直寫光刻技術和光電子材料與器件技術方案。

2021年10月26日下午，海立集團與上海微電子裝備集團舉行戰(zhàn)略合作協(xié)議簽約儀式。微電子裝備集團董事長干頻指出，海立集團在我國制冷壓縮機行業(yè)具有領先地位，雙方已經(jīng)形成了良好的合作基礎。希望雙方以封裝光刻機的冷卻系統(tǒng)配套為起點，進一步提升合作能級，逐步從零部件級供應合作提升為系統(tǒng)級供應合作。值得注意的是海立集團與上海微電子同屬上海電氣集團。

公司一直為全球光刻機巨頭廠商提供透鏡系統(tǒng)MEMS部件的工藝開發(fā)與晶圓制造服務。

瑞士子公司UCMAGAG為ASML及其供應商提供極紫外光刻機的光學系統(tǒng)關鍵部件的清洗設備。

華微電子正在加快推進與長春光機所、華為在光刻機領域的合作實力與上海微還是有差距。

公司為上海微電子所需的光刻機機臺內(nèi)國際最高潔凈等級標準（ISO Class 1級）潔凈環(huán)境提供EFU（超薄型設備端自帶風機過濾機組）及ULPA（超高效過濾器）等產(chǎn)品，助力國內(nèi)光刻機事業(yè)突破卡脖子技術難題。公司從2006年至今為中芯國際多地工廠供應風機過濾單元、高效/超高效過濾器、化學過濾器等產(chǎn)品，用于保障中芯國際系的歷代產(chǎn)品線（包括中芯國際最先進的14nm和28nm制程）對空氣潔凈度的要求。

公司多波段合分束器已完成產(chǎn)品開發(fā)，成功進入半導體微電子設備廠供應鏈。

$茂萊光學(SH688502)$ $福晶科技(SZ002222)$ $張江高科(SH600895)$

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搜集整理: @FinEvent 數(shù)據(jù)生成時間: 2023/08/31

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